XY,,,

Zhichao Shi1, Xiaoquan Li2, Zhiwei Zhu3

  • 1Sino-French Engineer School, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, Jiangsu Province 210094, China.

PubMed
概括

一个新的XY纳米定位阶段使用语音线圈电机 (VCM) 执行器和L形曲机制实现精确的运动. 这种设计通过最大限度地减少寄生运动和最大限度地提高自然频率来提高高级应用的性能.