基于液体造的MEMS流门传感器
Ying Yang1,2, Wei Xu1,3, Guangyuan Chen1
1State Key Laboratory of Transducer Technology, Aerospace Information Research Institute, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China.
Micromachines
|December 23, 2023
概括
液体造快速形成微电机系统 (MEMS) 流门传感器的3D电磁线圈,提高性能. 这种新的传感器设计提供了高灵敏度和低功耗.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 对于微电机系统 (MEMS) 流门传感器的传统电方法在线圈形成方面存在局限性.
- 液体造在创建具有改进尺寸 (更窄的线宽,更大的厚度) 的电磁线圈方面具有优势.
研究的目的:
- 提出并制造一种新的MEMS流门传感器,利用液体造用于电磁线圈形成.
- 通过优化线圈几何形状和材料来提高MEMS流门传感器的性能.
主要方法:
- 基于液体造工艺参数的MEMS流门传感器结构的设计.
- 使用MagNet软件进行模拟,以确定最佳的激发条件和灵敏度.
- 基于模拟模型的传感器的制造.
主要成果:
- 达到2847V/T的高灵敏度.
- 测量噪声水平为306 pT/√Hz在1 Hz.
- 获得了DC-10.5 kHz的带宽,功耗为43.9 mW.
结论:
- 液体造是制造高性能MEMS流门传感器的可行和有利的方法.
- 与大小相似的MEMS流门传感器相比,开发的传感器表现出更高的灵敏度和更低的功耗.
- 这些发现表明,使用这种制造技术可以改进MEMS传感器应用的潜力.
