衍射顺序的穆勒矩阵圆测量用于设计和制造极化束分裂元表面的设计和制造

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术纳米技术

背景情况:

• 光学超表面为传统的重光学组件提供了紧的替代品.
• 超表面性能对制造不完美非常敏感,需要精确的表征方法.
• 现有的表征技术可能缺乏有效的制造控制所需的准确性或非破坏性.

研究的目的:

• 为表现和验证非破坏性光谱穆勒矩阵圆测量在一个非镜形配置的 metasurface特征.
• 为了评估化 (a-Si:H) 基于纳米柱的直角偏振光束分割器的偏振性能.
• 证明这种技术在监控制造工艺和改进计算设计方面的实用性.

主要方法:

• 使用非破坏性光谱穆勒矩阵圆测量在非镜形配置.
• 分析了穆勒矩阵数据,以描述±1衍射次序的极度测量性能.
• 研究的元表面由无形 (a-Si:H) 纳米柱组成.

主要成果:

• 实验证明了±1衍射数的光谱极度测量性能.
• 确定了因制造诱导的形纳米柱所造成的最大效率的波长变化.
• 尽管存在制造偏差,但观察到接近理想非去极化穆勒矩阵的极度度反应.

结论:

• 光谱穆勒矩阵圆测量是一种强大的工具,用于表征光学元表面.
• 这种方法可以有效地监测和控制超表面制造过程.
• 该技术验证初始设计,并为代计算设计优化提供反.