在离子压力传感器中提高灵敏度和线性响应,用于非接触式高频振动识别

Daojian Su1, Gengzhe Shen2, Ke Ma1

  • 1School of Applied Physics and Materials, Wuyi University, Jiangmen 529020, PR China; Jiangmen Key Laboratory of Micro-Nano Functional Materials and Devices, Jiangmen 529020, PR China.

概括

本研究介绍了使用复合电极和独特的微观结构的先进的电离式压力传感器 (IPS). 这些传感器实现高灵敏度和广泛的线性范围,用于精确的振动监测,即使在水下.