黑作为红外成像应用中的反反射结构

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光学工程是指光学工程.
• 半导体设备 半导体设备

背景情况:

• 未冷却的红外摄像机使用微波计,需要用盖进行真空包装.
• 盖上的传统反射涂层可以最大限度地减少弗雷内尔反射损失.

研究的目的:

• 研究黑作为微波仪真空包装传统反射涂层的替代品.
• 为了评估黑色表面的光学传输和图像质量性能.

主要方法:

• 反应性离子蚀刻被用来创建黑色层和深深的空洞.
• 福里埃变换红外光谱评估了光学传输.
• 调制传递函数测量评估了图像质量.

主要成果:

• 黑色表面的光学传输能力与最先进的反射涂层相美,在8-12微米范围内.
• 使用黑可能实现了高达24微米的更宽带宽传输.
• 当使用黑色加工晶片作为窗口时,没有观察到图像质量的下降.

结论:

• 黑作为有效的反射层,用于微波计真空包装中的盖.
• 这种方法为传统反射涂料提供了可行的替代方案.
• 这项研究突出了红外成像系统中增强光学性能的潜力.