在石英和蓝宝石基板上的TiN薄膜的电子辐射诱导的降解

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 薄膜技术 薄膜技术
• 辐射的影响 辐射影响

背景情况:

• 化 (TiN) 薄膜对于光电子和光伏应用至关重要.
• 了解它们在电离辐射下的行为对于极端环境中的设备可靠性至关重要.

研究的目的:

• 研究5MeV电子辐射对磁铁喷射TiN薄膜的结构,形态,光学和电气性能的影响.
• 为了比较辐射对在蓝宝石和石英基板上生长的TiN薄膜的影响.

主要方法:

• 磁铁子喷雾被用来在蓝宝石和石英上沉积TiN薄膜.
• 用7 × 10¹³e/cm^{2的流动性与5MeV电子辐射之前和之后的电影的特征.}
• 分析包括结构,形态,光学和电气性能测量,以及化学状态分析.

主要成果:

• 电子辐射增强了两种基板上的TiN薄膜的特定导电性.
• 蓝宝石上的TiN薄膜从多晶变为无形,具有改变的Ti-N金属结合.
• 石英上的TiN薄膜在结构上保持不变,保留了它们的TiN粘合.

结论:

• 高能电子辐射可以改善TiN薄膜的电特性.
• 基质选择显著影响TiN薄膜对电子辐射的结构和化学反应.
• 这些发现对于设计耐辐射光电子设备和光伏系统至关重要.