概括
本研究介绍了一种简化的3D系统校准方法,用于显微镜边缘投影特征测量. 这种新方法精确地校准了使用单个2D目标的投影机和摄像机,提高了3D测量精度.
科学领域:
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 计量学 计量学 计量学
- 显微镜的使用方法
背景情况:
- 精确的三维 (3D) 微观结构测量对于精确的制造和检查至关重要.
- 现有的校准方法,如阶段高度映射 (PHM) 和立体视觉 (SV) 有局限性,包括依赖昂贵的设备或投影机校准的困难.
- 系统校准准确度直接影响最终的3D重建质量.
研究的目的:
- 开发一种简化和准确的3D系统校准方法,用于微观边缘投影特征测量.
- 为了同时校准投影机,摄像机和相对3D坐标关系.
- 减少对复杂或昂贵的校准装置的依赖.
主要方法:
- 建立了一个光学合的微观边缘投影系统,配备了 Scheimpflug 针孔投影仪和双远心相机.
- 引入了一种简化的3D系统校准方法,将相调节转移和光线传播结合起来.
- 使用单个2D目标同时校准投影机,摄像头和相对3D坐标.
主要成果:
- 拟议的方法允许同时校准所有系统组件,只使用2D目标.
- 外部投影仪的参数被校准,使得目标的完整位置可以确定.
- 从相位到3D坐标的直接映射系数是通过光学几何和相位标签获得的.
- 实验性比较证实了开发的方法的可行性和准确性.
结论:
- 简化的3D系统校准方法对微观边缘投影特征测量有效.
- 这种方法为现有的校准技术提供了更容易获得和更准确的替代方案.
- 该方法提高了复杂微观结构的3D测量的可靠性.
