使FIB-SEMX线CT3D

Ryuji Yoshida1, Yasutoshi Mizuta2, Takeharu Kato1

  • 1Nanostructures Research Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1, Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan.

PubMed
概括

聚焦于等离子的离子束扫描电子显微镜 (PFIB-SEM) 能够大批量3D重建电池材料. 这种技术提供了比X射线计算机断层扫描更高的分辨率和对比度,用于详细分析.