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Tao Liu1, Hiraku Matsukuma1, Amane Suzuki1
1Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.
两个新的算法增强了分散干扰测量,用于准确的距离测量. 这些方法大大减少了测量误差,并消除了死区,提高了绝对距离测量能力.
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主要方法:
主要成果:
结论: