紧型微科里奥利斯质量流量计具有光学读取输出
Mahdieh Yariesbouei1, Remco G P Sanders1, Remco J Wiegerink1
1Integrated Devices and Systems, University of Twente, 7522 NB Enschede, The Netherlands.
Micromachines
|January 23, 2024
概括
这项研究引入了一种新的化微型科里奥利斯质流传感器,具有光学读数. 它展示了精确的流体测量,为先进的流量传感应用铺平了道路.
科学领域:
- 微电机系统 (MEMS) 是指微电机系统.
- 传感器技术 传感器技术
- 流体动力学 流体动力学
背景情况:
- 传统的质流传感器在小型化和集成读数方面存在局限性.
- 开发微尺度传感器对于各种应用中先进的流体监测至关重要.
研究的目的:
- 介绍了第一台化微型科里奥利斯质流传感器,带有集成光学读出.
- 用不同的流体来描述传感器的性能.
主要方法:
- 制造一个U形,化微管传感器 (60毫米长,580微米内径).
- 通过洛伦兹力和通过光学读取 (LED和光电晶体管) 进行运动检测.
- 在室温下测量水和异醇的质量流量.
主要成果:
- 传感器对两种流体的扭转和摆动模式呈现出不同的共振频率.
- 测量到的水的共振频率: 1.67 kHz (扭曲), 738 Hz (摇摆).
- 对异醇的测量共振频率为1.70kHz (扭曲),752Hz (摇摆).
- 阶段转移对质量流的线性反应具有高灵敏度 (0.41mdeg/g/h对于水,0.43mdeg/g/h对于异醇).
结论:
- 化微型科里奥利斯质流传感器与光学读取成功演示.
- 传感器显示了准确和敏感的流体质量流量测量的潜力.
- 这项技术为微尺度流体监测提供了一个有前途的解决方案.


