纠正: 集成的光子MEMS.
Niels Quack1,2, Alain Yuji Takabayashi1, Hamed Sattari1,3
1École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, Switzerland.
Microsystems & nanoengineering
|January 25, 2024
概括
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科学领域:
- 科学出版业的科学出版.
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