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Updated: Jul 4, 2025
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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在42°Y-X LiTaO3/SiO2/Poly-Si/Si基板上的表面声波共振器的优化,以提高性能和横向模式抑制
Hongzhi Pan1, Yang Yang2, Lingqi Li2
1China Electronics Technology Group Corporation No.26 Research Institute (SIPAT), Chongqing 400060, China.
Micromachines
|January 26, 2024
概括
这项研究优化了表面声波 (SAW) 设备的多层压电基板. 优化的设计可以提高关键性能指标,如Bode Q值和带宽,从而提高SAW设备的功能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 物理 物理学 物理
背景情况:
- 表面声波 (SAW) 设备使用多层压电基板来提高性能,包括高质量因子 (Q),低插入损失和大带宽.
- 在制造之前,全面的分析和设计至关重要,以评估关键性能指标,如Bode Q值,带宽和横向模式抑制.
研究的目的:
- 为了探索和优化SAW共振器的性能,使用42°Y-X LiTaO3 (LT) 薄板式多层压电基板.
- 调查层厚度和设备结构参数对性能指标和横向模式抑制的影响.
主要方法:
- 基于相速,Bode Q值和带宽的42°Y-X LT/SiO2/poly-Si/Si基板的层厚度的优化.
- 分析设备结构参数对分散和缓慢曲线的影响.
- 优化模拟配置,以抑制虚假波.
主要成果:
- 一个平坦的缓慢曲线被确定为有利于横向模式抑制.
- 为LT/SiO2/多Si/Si基板确定了优化的层厚和模拟配置.
- 基于优化设计的单端口共振器的制造.
结论:
- 该研究为多层SAW共振器提供了经过验证,优化的设计.
- 介绍了模拟结果和实验测量结果,为未来复杂SAW设备设计提供了指导方针.
- 优化的基板设计增强了SAW设备的关键性能指标.
