对于射频MEMS开关的高可靠接触点的实施
Lili Jiang1,2, Lifeng Wang1, Xiaodong Huang1
1Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, School of Electronic Science and Engineering, Southeast University, Nanjing 210096, China.
Micromachines
|January 26, 2024
概括
为射频微电子机械系统 (RF MEMS) 开关开发了高度可靠的接触器. 使用黄金和金薄膜的圆形接触设计证明了卓越的耐用性,持续超过12亿个周期.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
背景情况:
- 接触器是射频微电子机械系统 (RF MEMS) 开关中的关键组件,显著影响其性能.
- 黄金是射频MEMS接触器的首选材料,因为它的阻力,稳定性和工艺成熟度较低.
- 提高接触可靠性对于射频MEMS开关的寿命和有效性至关重要.
研究的目的:
- 实现直接接触射频MEMS开关的高度可靠的联系.
- 调查接触形状和材料对开关可靠性的影响.
- 介绍先进射频MEMS开关接触器的制造工艺.
主要方法:
- 制造RF MEMS开关的三个不同的接触形状.
- 使用黄金作为主要金属,并在底部接触区域上使用白金薄膜.
- 采用干湿组合工艺来创建一个圆形的接触.
- 实验测试用于评估射频性能和接触可靠性.
主要成果:
- 接触形状对开关的射频性能影响最小.
- 与其他设计相比,圆形接触器的可靠性显著提高.
- 循环接触器在经过1.2 × 10^9个广泛的切换周期后仍然保持了功能.
结论:
- 开发的循环接触设计为直接触射频MEMS开关提供了卓越的可靠性.
- 金和膜的组合有效地提高了接触耐用性.
- 这项研究有助于推进强大且持久的射频MEMS开关技术.
