概括
一个新的差异对焦干扰系统可以为大孔径球形表面进行精确的拼接测量. 这种自动化系统为非全方位的表面分析提供了高精度和速度.
科学领域:
- 光学计量学是指光学计量学.
- 表面计量学 表面计量学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 测量大孔角非全方位球形表面需要高精度和效率.
- 对于复杂的表面几何形状,现有的方法在准确性和速度方面面临挑战.
研究的目的:
- 开发一个自动针测量系统,用于大孔角非全学球形表面.
- 为了实现高精度,高效率和自动化的表面合测量.
主要方法:
- 差异对焦精确聚焦技术,用于准确的对焦定位.
- 使用拼接模型,坐标转换和错误补偿进行亚孔数据处理.
- 自动调节工作台用于样品定位和姿势控制.
主要成果:
- 实现了0.0013λ的针测量精度和1.36%的相对误差.
- 在短短6分钟内完成了8个子孔的合测量.
- 对于大孔球形元件的自动和快速调整能力已经证明.
结论:
- 开发的系统提供了高精度,非破坏性,快速和自动的表面拼接测量.
- 它解决了对复杂球形表面高效计量学的需求.
- 该系统适用于光学制造和测试中的苛刻应用.


