概括
这项研究介绍了一种- (Si/Ge) 波导光传感器,实现了高响应率和低暗电流. 设计的电场使得在低偏差电压下能够有效检测光线.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体设备 半导体设备
- 光子学 是一个光子学.
背景情况:
- 光传感器是光通信系统中至关重要的组件.
- 现有的设计往往面临响应能力和低偏差下的暗电流的限制.
- 高效的光检测需要优化设备结构和电场工程.
研究的目的:
- 开发一个具有增强性能的Si/Ge波导光传感器.
- 调查工程电场分布对设备特性的影响.
- 为了在低工作电压下实现高响应性和低暗电流.
主要方法:
- 使用 n-i-p-i-n 兴奋剂制造一个 Si/Ge 波导光传感器.
- 整合两个p + - 的区域在板下面的Ge表轴层.
- 在不同偏差条件下对响应能力,暗电流,带宽和相位噪声的表征.
主要成果:
- 在1V偏差下达到606A/W的响应能力,在2.8V偏差下达到1032A/W的响应能力,输入光学功率为-50dBm.
- 证明低暗电流1V时为4μA,2.8V时为42μA.
- 在1KHz的偏移下测量了一个小信号-3dB带宽为1.5GHz和相位噪声为-80dBc/Hz.
结论:
- 设计的电场分布显著提高了光传感器的性能.
- 开发的Si/Ge波导光传感器提供了高响应性和低暗电流.
- 该设备显示了需要高效光检测的先进光电子应用的潜力.
