关于单晶Al2O3微波窗口的合密封度和波传导率的研究
Youfu Jiang1, Xinfei Zhang2, Shengnan He1
1Institutes of Physical Science and Information Technology, Anhui University, Hefei, China.
Heliyon
|February 9, 2024
概括
这项研究成功地使用真空接来为氧化 (Al2O3) 微波窗户创建可靠的金属密封件. 由此产生的Al2O3窗户具有出色的机械强度和介电性质,满足高功率要求.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 陶工程 陶工程 陶工程
- 微波工程 微波工程
背景情况:
- 氧化 (Al2O3) 是高功率微波窗的关键材料,由于其低介电损耗,机械强度和耐腐蚀性.
- 由于Al2O3的脆性和低导热性,实现可靠的金属密封存在挑战.
研究的目的:
- 研究用于高功率微波窗口应用的铜和单晶Al2O3的真空接.
- 分析接关节的接口结构,机械性能和密封性能.
主要方法:
- 使用真空技术将铜和单晶Al2O3.3结合在一起.
- 机械性能通过剪切强度测试进行评估.
- 使用泄漏和X射线测试来评估密封性能.
- 用矢量网络分析仪,准光学共振器和自由空间测试系统测量了介电性质和静态波系数.
主要成果:
- 接接头表现出了出色的机械性能,达到207MPa的平均切削强度.
- 2O3窗户表现出了出色的密封性能,由泄漏和X射线测试证实.
- 介电损耗在95-98GHz时被测定为10^-5大小,静态波系数低于2.
结论:
- 真空是一种有效的方法,用于在Al2O3微波窗户中创建坚固的金属密封.
- 开发的Al2O3窗户满足了高功率微波应用的严格要求,因为它们具有卓越的机械,密封和介电性质.
