Si/

Yosuke Hanawa1, Jianliang Zhang2, Agus P Sasmito3

  • 1SCREEN Holdings Co., Ltd., Kyoto 615-8194, Japan.

概括

了解化剂的固化是半导体制造的关键. 这项研究阐明了基板上的水/冰固化动态,揭示了四种不同的晶体形态,并提出了一个预测性运动模型.