在现场SEM拉伸测试期间,对薄膜进行实时动态行为分析
Hyeon-Gyu Min1, Jun-Hyub Park1
1Department of Mechanical & Automotive Engineering, Kyungsung University, 309, Namgu, 48434, Suyeongro, Busan, Republic of Korea.
Heliyon
|February 22, 2024
概括
这项研究引入了一种新的方法,用于实时机械分析薄膜,使用现场扫描电子显微镜 (SEM) 测试. 该技术能够快速测量应变,这对于了解材料特性和可靠性至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 机械工程 机械工程
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 薄膜是微/纳米电子学中的关键组件.
- 精确的机械表征需要实时动态行为分析.
- 使用高放大扫描电子显微镜 (SEM) 图像进行传统的应变测量是耗时的.
研究的目的:
- 开发一种用于实时动态行为分析薄膜的方法.
- 为了获得薄膜材料可靠的机械性能.
- 为了克服传统的基于SEM的延展测量的时间限制.
主要方法:
- 开发了用于狭窄室内空间的现场SEM拉伸测试仪.
- 优化的SEM放大和分辨率为每秒1的图像采集.
- 将基于图像的应变测量技术应用于连续获取的SEM图像.
主要成果:
- 在机械测试期间启用了薄膜的实时动态行为分析.
- 促进了机械性质的获得,提高了效率.
- 提供了对薄膜材料的故障机制的见解.
结论:
- 拟议的现场SEM测试和基于图像的应变测量方法显著提高了薄膜机械行为的分析.
- 这种方法通过提供关于动态响应和故障模式的实时数据来确保材料可靠性.
- 开发的系统适用于微/纳米电子应用中的薄膜评估.
