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Shengru Zhou1, Chao Liang2, Ziqi Mei2

  • 1School of Instrumental Science and Opto-Electronics Engineering, Beijing Information Science Technology University, Beijing 100192, China.

Micromachines
|February 24, 2024
PubMed
概括

本研究介绍了一种用于微电子机械系统 (MEMS) 的新型电磁执行器 (EMA). 通过使用低电流,EMA提供了高位移,使其能够在可重新配置的元材料和可调节的太赫兹吸收器中应用.