在MEMS中取得的最新进展 光纤 织物 佩罗特压力传感器
Ye Chen1, Dongqin Lu2, Huan Xing2
1MIIT Key Laboratory of Aerospace Information Materials and Physics, State Key Laboratory of Mechanics and Control for Aerospace Structures, College of Physics, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 211106, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|February 24, 2024
概括
微电子机械系统 (MEMS) 光纤Fabry-Perot (FP) 压力传感器为恶劣环境提供了强大的解决方案. 这篇评论涵盖了它们的原理,材料,应用以及3D打印和高温蓝宝石传感器等进步.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 传统的电子压力传感器在恶劣的工业环境中面临着局限性.
- 微电子机械系统 (MEMS) 光纤Fabry-Perot (FP) 压力传感器正在成为一个有希望的替代品.
- 这些传感器在苛刻的条件下提供了更高的耐用性和性能.
研究的目的:
- 审查MEMS光纤FP压力传感器的基本原理.
- 讨论传感器材料,工业应用以及最近的技术进步.
- 突出目前的最先进技术和未来的发展机会.
主要方法:
- 对MEMS光纤FP压力传感器现有文献的审查.
- 在传感器制造中使用的不同材料的分析.
- 讨论先进的制造技术,包括二光子聚合3D打印.
主要成果:
- 探索用于MEMS光纤FP压力传感器的各种材料.
- 识别这些传感器的各种工业应用.
- 展示了先进的传感器,包括在1200°C工作的蓝宝石设备.
结论:
- MEMS光纤FP压力传感器代表了传感技术的重大进步.
- 持续的研发,特别是材料和制造业,将扩大其能力和应用.
- 未来的工作重点应该是克服当前的局限性,探索高性能压力传感的新前沿.
