一种简单的坐标转换方法,可以快速定位TEM样本中感兴趣的特征
Mingzhi Zeng1, Wenzhao Wang1, Yang Yin1
1State Key Laboratory of Surface Physics and Department of Physics, Fudan University, Songhu Rd 2005, Yangpu District, Shanghai 200438, China.
Microscopy (Oxford, England)
|February 29, 2024
概括
我们开发了一种简单的坐标转换方法,用于在传输电子显微镜 (TEM) 中快速导航样本. 这种技术通过使用光学图像来定位感兴趣的特征 (FOI) 而没有专门的设备来提高效率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 显微镜技术 显微镜技术
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 传输电子显微镜 (TEM) 调查是耗时的,因为偏差校正仪器的视野有限.
- 在TEM中找到感兴趣的特定特征 (FOI) 可能是具有挑战性和低效的.
- 目前的方法可能需要专门的样本持有器或网格,限制普遍应用.
研究的目的:
- 开发一种简单而准确的方法,以便在TEM样本中快速定位FOI.
- 为了提高先进扫描/传输电子显微镜 (S/TEM) 的样本搜索效率.
- 在各种TEM设置中为FOI识别提供普遍适用的解决方案.
主要方法:
- 使用样本和持有器的数字光学显微镜图像开发了坐标转换方法.
- 在持有器上自然存在的几何图案被用来建立光学和电子坐标系统之间的投影转换.
- 该方法作为Gatan脚本实现了以用户友好,基于图形界面的操作.
主要成果:
- 开发的方法在定位FOI方面证明了准确性.
- 它不需要对电子显微镜或样本持有器进行任何修改.
- 该技术消除了对有图案的网格或沉积标记的需求,使其能够普遍应用.
- 通过在线通信和放大光学图像实现了实时导航和样本运动的跟踪.
结论:
- 这种坐标转换方法在TEM中显著改善了FOI识别的速度和容易性.
- 它的普遍适用性和最低设备要求使它成为研究人员使用S/TEM的宝贵工具.
- Gatan脚本实现提供了一个可访问的,用户友好的界面,用于增强的TEM样本导航.
