概括
这项研究引入了一种新方法,用于在埋藏的异构结构 (BH) 激光器中制造槽面格子. 这种技术简化了过程,并大大降低了高性能激光器的制造成本.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体设备制造 半导体设备制造
背景情况:
- 埋葬异构 (BH) 激光器是关键的光电子设备.
- 在BH激光器中制造集成网格给制造业带来了挑战.
研究的目的:
- 介绍一种新的,具有成本效益的方法,用于在BH激光器中制造斜槽表面格子.
- 为了简化带有集成网格的BH激光器的制造过程.
主要方法:
- 重复使用SiO2条,最初用于InP电流阻断层,作为格格子模式形成的口罩.
- 在p-InP覆盖层沉积过程中利用选择性的InP生长,同时形成格槽.
- 制造单条纵向模式BH激光器,采用新型槽面格子.
主要成果:
- 成功制造了BH激光器,其表面有槽格子.
- 在制造的激光器中达到超过40dB的侧模式抑制比 (SMSR).
- 与现有方法相比,展示了一个简化的制造过程.
结论:
- 这种新方法简化了BH激光制造.
- 该技术显著降低了生产带有槽面格子的BH激光器的成本.
- 制造的激光器具有出色的光谱性能,由高SMSR表示.
