超高质量的Ge-on玻璃,具有3.7%的单轴拉伸应变

Liming Wang1, Guangrui Xia1

  • 1Department of Materials Engineering, The University of British Columbia, Vancouver, British Columbia V6T 1Z4, Canada.

ACS omega
|March 4, 2024
PubMed
概括

在玻璃上开发了超高质量的 (Ge) 薄膜,使用晶圆粘合和稀释. 这些薄膜具有显著更长的少数载体寿命,使基于Ge的半导体设备和光辐射应用的进步成为可能.