使用亚纳米 Ti 封闭层,极度抗潮,改善了 Ag 层的可见传输
Amy L Lynch1, Christopher P Murray2, Evan Roy2
1Technical University of Dublin, Grangegorman, Dublin D07 H6K8, Ireland.
ACS omega
|March 4, 2024
概括
添加一层薄的 (Ti) 盖层可以显著减少银 (Ag) 薄膜中的露水. 这种增强提高了薄膜的稳定性和电气性能,这对于纳米技术应用至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 薄膜物理学 薄膜物理学
背景情况:
- 控制薄膜湿至关重要,因为沉积厚度降低到纳米级.
- 超薄的银 (Ag) 薄膜容易被潮湿,影响设备的性能.
研究的目的:
- 为了研究 (Ti) 粘附和封闭层对超薄的Ag薄膜的露水行为的影响.
- 评估Ti/Ag/Ti结构对薄膜稳定性和电特性的影响.
主要方法:
- 使用磁铁喷射制造薄膜堆 (Ag与Ti层) 的制造.
- 通过扫描电子显微镜/能量分散X射线,Vis/IR光谱学和四点探针电阻测量进行分析.
- 在空气中在250°C下进行5小时的化研究.
主要成果:
- 一个0.5纳米的Ti封闭层将9纳米的Ag薄膜的脱湿面积减少了数量级.
- 在化后,膜电阻在Ti膜中相比没有膜的膜下降了两个数量级.
- 集成到低排放性窗户涂层中的Ti/Ag/Ti结构 (含AZO) 在回火后显示出优异的性能.
结论:
- 一层薄薄的Ti封闭层有效地抑制了超薄的Ag薄膜中的露水.
- Ti/Ag/Ti 结构为薄 Ag 薄膜提供了更好的稳定性和电性能.
- 这种方法提供了一种可制造的工艺,以提高使用薄型Ag薄膜的设备的寿命.
