概括
一个新型的多波长共聚焦位移传感器使用平面形格子 (FFCG) 提供了高精度和准确性. 这种创新的传感器实现了6.8毫米的位移范围,具有出色的线性和灵敏度.
科学领域:
- 光学工程是指光学工程.
- 计量学 计量学 计量学
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 传统的移位传感器通常依赖于复杂的分散性镜头组.
- 平面形格子 (FFCGs) 为光学系统提供分散和尺寸的优势.
研究的目的:
- 提出和设计一个多波长的对焦移位传感器.
- 为了评估基于FFCG的传感器的性能特征.
主要方法:
- 设计和制造一个采用FFCG的多波长共聚焦位移传感器.
- 使用位移计进行校准,并测量传感器特征.
- 对线性,灵敏度,分辨率和稳定性的评估.
主要成果:
- 传感器显示位移范围为6.8毫米,R平方线性系数为0.998.
- 灵敏度超过17.1nm/mm,分辨率为70μm.
- 高精度和准确度被半最大全宽度 (FWHM) 约1.63nm表示.
结论:
- 基于FFCG的位移传感器是复杂的镜头系统的可行的替代方案.
- 开发的传感器表现出高精度,准确性,稳定性和可靠性,用于位移测量.


