在玻璃中使用激光诱导深蚀刻的集成多模光学波导

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光学工程是指光学工程.
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 传统的玻璃微加工方法缺乏精度和设计灵活性.
• 由于其传导和折射性能,玻璃是光学应用的首选材料.

研究的目的:

• 开发一种新的,高精度的方法来制造玻璃中的光学波导.
• 为增强光学功能,将聚合物波导与玻璃基板集成.

主要方法:

• 利用激光诱导深蚀刻 (LIDE) 进行玻璃结构的减法制造.
• 采用医生刀片技术,为聚合物波导制造创造U形腔.
• 用液态光学聚合物填充蚀刻的沟,并通过紫外线固化它们形成波导.

主要成果:

• 成功制造出具有U形截面的玻璃聚合物混合光学波导.
• 在可见到近红外频谱中展示了波导能力.
• 验证了LIDE-doctor-blade (LDB) 方法的精度和集成光学潜力.

结论:

• LDB方法为制造玻璃中光学波导提供了一个精确和多功能方法.
• 这种技术弥合了远距离光学传输和芯片上解决方案之间的差距.
• 制造的波导表现为先进的光子包装具有有前途的光学性能.