测量了SC合AlN波导的光学损失

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光电学是指光电子产品.
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 添加的化 (ScAlN) 用于微电机系统 (MEMS) 和光学设备.
• 缺少ScalN的内在光损失研究,阻碍其在光子学中的全部潜力.

研究的目的:

• 调查和量化Sc_0.30Al_0.70N波导系统中的内在光学损失.
• 评估ScalN适用于低损耗光学应用的适用性.

主要方法:

• 使用部分物理蚀刻制造Sc_0.30Al_0.70N波导.
• 使用赛道共振器测量波导质量因素.
• 在红外波长的传播损失值的提取.

主要成果:

• 在大约1550 nm的距离下,达到低至1.6 ± 0.3 dB/cm的传播损失.
• 观察到最大的共振器质量因子超过87000.
• 确定了内在材料吸收作为光学损失的主要来源.

结论:

• Sc_0.30Al_0.70N表现出明显低的传播损失,超过了之前的报道.
• 该材料非常适合集成到光学调制器和其他光子设备中.
• 进一步的研究可以为下一代光学技术优化ScAlN.