概括
我们开发了一种成本效益高的光子制造方法,使用i-line步进光刻法. 这个工艺整合了化 (SiN) 波导共振器和槽结构,用于大规模生产.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 石版画是一种刻画.
背景情况:
- 光子设备需要精确的制造以获得最佳性能.
- 将多个光子元件集成到单个晶圆上,带来了制造方面的挑战.
- 化 (SiN) 是低损耗光子波导的关键材料.
研究的目的:
- 展示一种成本效益高,可扩展的方法来制造集成光子设备.
- 为了获得高质量的化 (SiN) 波导共振器和稳定的槽结构.
- 为了验证整个晶圆上制造的光子设备的统一性和产量.
主要方法:
- 采用了经济高效的i-line步进光刻技术,用于全晶圆制造.
- 集成化 (SiN) 波导共振器和槽结构.
- 描述波导共振器的质量系数 (Q),并评估合稳定性.
主要成果:
- 实现了低损耗的SiN波导,波导共振器质量系数高达105.5的波导.
- 成功整合了槽结构,用于稳定的合和包装.
- 在整个6英寸晶圆上展示了光子设备的优秀统一性.
结论:
- 经过证明的i-line步骤光刻工艺使得高均度光子设备的批量生产成为可能.
- 整合SiN波导和槽结构为稳定的光子合和包装提供了可行的解决方案.
- 这种制造方法对于高产量,大规模制造光子集成电路具有显著的潜力.
