可调节的MEMS多值惯性开关的设计,模拟和测试
Qiu Xu1,2, Rodrigo T Rocha3, Yousef Algoos4
1Faculty of Electronic Information Engineering, Huaiyin Institute of Technology, Huai'an, 223003 PR China.
Microsystems & nanoengineering
|March 8, 2024
概括
本研究介绍了一种可调节的微电机械惯性开关. 该设备提供可调节的加速度值,将测量精度与冲击检测功率效率相结合.
科学领域:
- 微电机系统 (MEMS) 是指微电机系统.
- 惯性传感技术 惯性传感技术
- 非线性动力学是一种非线性动力学.
背景情况:
- 传统的惯性开关缺乏可调节的值,限制了它们的适应性.
- 加速度计提供定量数据,但可能耗费大量功率.
- 需要具有可调节检测级别的节能惯性传感器.
研究的目的:
- 介绍一款新型可调节的多值微电子机械惯性开关.
- 为了研究可调值能力和冲击持续时间的影响.
- 为了展示一个结合加速度计和开关优势的设备.
主要方法:
- 一个概念验证装置的设计,其中包括一个横向微光束和两个电极.
- 使用非线性光束模型进行分析调查,以研究值的可调性.
- 使用冲击表系统进行实验验证,以测试制造的原型.
主要成果:
- 由偏移电压和冲击持续时间影响的可调节值能力.
- 分析模型的预测与实验数据有很强的一致性.
- 成功制造和测试原型设备.
结论:
- 可调节的微电子机械惯性开关为冲击和冲击负载分类提供了一个有希望的解决方案.
- 该设备将定量测量与节能功能相结合.
- 潜在的应用包括需要智能冲击检测的运输和医疗保健系统.
