概括
这项研究介绍了一种双格色线共焦成像 (DG-LCI) 技术. 它可以实现高分辨率,广泛的表面地形测量,而不会牺牲分辨率的范围.
科学领域:
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 计量学 计量学 计量学
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 染色线对焦成像 (LCI) 对于3D表面形态,粗度分析和质量检查至关重要.
- 对于Z方向的广泛测量范围,LCI提供了很大的焦点深度.
- 在LCI的一个关键挑战是测量范围和分辨率之间的反向关系.
研究的目的:
- 引入一个光学路径优化的双网格色谱线对焦成像 (DG-LCI) 技术.
- 为了克服LCI系统中测量范围和分辨率之间的权衡.
- 为了实现高分辨率和广泛的表面地形测量.
主要方法:
- 开发了一条带有双网格结构的双光学路径.
- 实现了一个简单而巧妙的光路优化设计.
- 通过严格的模拟和实验测试验证了该技术.
主要成果:
- 实现了毫米级的测量范围,同时提高了分辨率.
- 证明了拟议的DG-LCI技术的有效性.
- 验证了该技术在表面地形测量中的性能.
结论:
- 拟议的DG-LCI技术成功克服了LCI中的范围分辨率限制.
- 这种方法为精确的工业表面计量提供了一个有前途的解决方案.
- 光路优化设计对于先进的表面成像应用是有效的.


