概括
研究人员通过创建多孔表面,改进了,,和化 (AlGaInP) 发光二极管 (LED) 中的光提取. 这种方法提高了外部量子效率 (EQE),而不影响电性能.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体设备 半导体设备
背景情况:
- 基于AlGaInP的LED表现出较低的外部量子效率 (EQE),主要是由于光提取能力差.
- 改善光线提取对于提高LED性能至关重要.
研究的目的:
- 为了提高基于AlGaInP的垂直微型LED (迷你LED) 的光提取效率.
- 为了研究通过湿蚀创建的多孔n-AlGaInP表面对LED性能的影响.
主要方法:
- 使用湿蚀刻工艺制造具有多孔的n-AlGaInP表面的垂直迷你LED.
- 研究蚀刻时间与多孔表面形态之间的关系.
- 性能特征 (光输出功率,EQE,电性能) 的微型LED光灯,光滑和多孔的表面.
- 三维有限差异时间域 (FDTD) 模拟以阐明底层机制.
主要成果:
- 蚀刻时间会影响毛孔密度,最初增加,然后减少.
- 垂直迷你LED具有多孔表面,与光滑表面的LED相比,显示出更好的光输出功率和EQE.
- 对于最大孔密度的迷你LED,EQE的最高改善为38.9%在20mA时.
- 电气性能没有受到多孔表面修改的影响.
结论:
- 一个多孔的n-AlGaInP表面有效地增强了迷你LED中的光提取.
- 性能提升归因于抑制了内部总反射,并增强了孔隙的光散射.
- 这种湿蚀方法提供了一个可行的策略,以提高基于AlGaInP的LED的效率.
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