高分辨率微/纳米点阵列的制备,采用电动力喷气打印,提高统一性
Yiwei Jin1, Ziwei Zhao1, Jiankui Chen2
1The State Key Laboratory of Intelligent Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, HuaZhong University of Science and Technology, Wuhan, 430070, China.
Scientific reports
|March 24, 2024
概括
电动力喷射 (E-Jet) 打印实现了高分辨率阵列. 应用电压是统一性的关键,它可以在最小的偏差下打印高达每英寸17000像素 (PPI).
科学领域:
- 微电子制造业微电子制造业
- 先进的印刷技术,先进的印刷技术.
背景情况:
- 高分辨率阵列是微电子学的基础.
- 电动力喷射 (E-Jet) 打印在分辨率,材料兼容性和多模式打印方面具有优势.
- 实现统一的高分辨率阵列仍然是一个挑战,影响设备性能和寿命.
研究的目的:
- 为了研究和提高E-喷气打印点阵列的统一性.
- 识别影响数组统一性的关键参数.
- 为优化高分辨率阵列打印建立实用指南.
主要方法:
- 利用NEJ-E/P200实验平台进行系统的参数分析.
- 研究了各种打印参数对点阵列统一性的影响.
- 在一系列分辨率中成功打印了点数组.
主要成果:
- 应用电压被确定为保持阵列统一性的最重要的参数.
- 从500 PPI到17,000 PPI成功打印了点阵列.
- 一致性偏差在10,000 PPI以下的数组中为5%,在10,000 PPI以上的数组中为10%.
- 使用E-喷气打印展示了第一个超过15,000 PPI的点数组的实现.
结论:
- 优化打印参数,特别是应用电压,对于实现统一的高分辨率阵列至关重要.
- 电子喷射打印技术能够以前所未有的分辨率生产微电子阵列.
- 这些发现为推进使用电子喷射打印进行高分辨率阵列制造提供了必要的实际指导.
