使用射频磁力喷射方法沉积具有不同功率的ZnO薄膜:结构,电气和光学研究
Bassam Abdallah1, Walaa Zetoun1, Ahamad Tello1
1Department of Physics, Atomic Energy Commission, P. O. Box 6091, Damascus, Syria.
Heliyon
|March 25, 2024
概括
本研究详细介绍了使用磁铁喷射制造高质量的氧化薄膜的制造方法. 这些薄膜具有出色的光学和电气性能,使它们适合用于光伏电池和光电子.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 固态物理 固态物理
背景情况:
- 氧化 (ZnO) 是一种多用途的半导体,在电子和光学中具有应用.
- 控制ZnO薄膜的性能对于设备的性能至关重要.
研究的目的:
- 沉积和特征氧化薄膜具有良好的结晶性.
- 为了研究射频 (RF) 功率对薄膜特性的影响.
- 评估这些薄膜对于光电子应用的适用性.
主要方法:
- 在玻璃和Si100) 基板上的磁喷沉积.
- 使用X射线衍射 (XRD),MicroRaman光谱,扫描电子显微镜 (SEM),原子力显微镜 (AFM),能量分散式X射线光谱 (EDX) 的表征.
- 光学 (UV-Vis,光发光) 和电气 (I-V,C-V) 性能测量.
主要成果:
- 实现了具有石结构和 (002) 偏好方向的 ZnO 薄膜.
- 分析了表面形态,静态度,光学透射率和光发光.
- 在薄膜上ZnO的电特性被研究为射频功率的函数.
结论:
- 优化的射频功率使高质量的ZnO薄膜的沉积成为可能.
- 这些片显示出高透明度和理想的电气特性.
- 这些ZnO薄膜对光伏电池和光电子的应用具有前景.
