多刺激运行传输电子显微镜用于基于氧化物的双终端设备.
Oscar Recalde-Benitez1, Yevheniy Pivak2, Robert Winkler1
1Advanced Electron Microscopy Division, Institute of Materials Science, Department of Materials and Geosciences, Technische Universität Darmstadt, Peter-Grünber-strasse 2, Darmstadt 64287, Germany.
概括
微电子机械系统 (MEMS) 芯片使纳米电子设备的现场传输电子显微镜 (TEM) 研究成为可能. 一种新的技术揭示了再氧化在离子/电子轰炸后降低了memristor和电容器的泄漏电流.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米科学是一个纳米科学.
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 在现场传输电子显微镜 (TEM) 与微电子机械系统 (MEMS) 芯片提供先进的纳米电子设备分析.
- 在TEM环境中控制设备操作的多个刺激是一个重大挑战.
研究的目的:
- 为了研究多刺激应用对TEM板状器件电性能的影响.
- 开发和验证一种技术,以大致地测量TEM片中的宏观泄漏电流测量.
主要方法:
- 集成基于MEMS的芯片与现场TEM气体电池,用于偏差实验.
- 开发后聚焦离子束 (FIB) 治愈技术,用于泄漏电流的近似值.
- 暴露基于SrTiO3的memristors和基于BaSrTiO3的调节电容器在富含氧气的环境中受到离子和电子轰炸.
主要成果:
- 在SrTiO3和BaSrTiO3器件中观察到一个再氧化过程.
- 在富含氧气的环境中,离子和电子轰炸导致泄漏电流的减少.
- 在金属绝缘体金属设备上成功演示了多刺激TEM实验.
结论:
- 开发的技术使得在各种刺激下能在现场进行纳米电子设备的电特性鉴定.
- 在特定的轰炸条件下,再氧化是影响这些材料泄漏电流的关键因素.
- 这项工作为复杂电子设备的高级多刺激TEM研究铺平了道路.


