沉积工作功率对射频喷涂光伏应用的CdTe薄膜物理性能的影响
Ana-Maria Răduță1, Ana-Maria Panaitescu1, Marina Manica1,2
1R&D Center for Materials and Electronic & Optoelectronic Devices (MDEO), Faculty of Physics, University of Bucharest, Atomiștilor Street 405, 077125 Măgurele, Ilfov, Romania.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|March 27, 2024
概括
在90W射频功率优化的射频磁铁喷射产生高质量的 telluride (CdTe) 纳米结构薄膜. 这些薄膜具有出色的结构,光学和电气性能,非常适合用于光伏应用.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 化 (CdTe) 薄膜对于光伏应用至关重要.
- 优化沉积参数对于增强薄膜性能至关重要.
研究的目的:
- 为了研究射频 (RF) 功率对CdTe薄膜性能的影响.
- 为了确定光伏应用中CdTe薄膜沉积的最佳射频功率.
主要方法:
- 无线电频率磁铁喷雾被用于在p型Si和光学玻璃基板上沉积CdTe薄膜.
- 使用XRD,SEM,AFM,光学光谱和电流电压测量分析了结构,形态,光学和电气性能.
- 薄膜在不同的射频功率 (70-100W) 上沉积,同时保持恒定的基板温度,压力和沉积时间.
主要成果:
- 射频功率显著影响CdTe膜的晶体性,形态和光学特性.
- 90W的射频功率产生了高度结晶的 (~1μm) 纳米结构的CdTe薄膜.
- 在90W下沉积的薄膜具有有利的光学和电气特性,可作为吸收层使用.
结论:
- 90W的射频功率被认为是沉积高质量的CdTe薄膜的最佳条件.
- 优化的CdTe薄膜适用于CdTe薄膜太阳能电池中的吸收层.
- 这项研究为开发高效的基于CdTe的光伏设备提供了宝贵的见解.
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