微电机械系统 麦克风:简要回顾强调最近在可听频谱应用方面的进展
Zhuoyue Zheng1, Chen Wang2, Linlin Wang2
1Institute of Microelectronics, State Key Laboratory of Analog and Mixed-Signal VLSI, University of Macau, Macau 999078, China.
Micromachines
|March 28, 2024
概括
本综述涵盖了微电机系统 (MEMS) 麦克风的进展,重点关注转导,机械结构和降噪,以实现高性能语音捕捉. 它解决了诸如残余压力和环境噪音等挑战,以改善动态范围.
科学领域:
- 工程 工程师 工程师 工程师
- 声学 声学 在声学方面
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 微电机系统 (MEMS) 麦克风是语音技术中的关键组件.
- 商业成功存在,但诸如残余压力,噪音和结构限制等挑战仍然存在.
- 目前正在进行的研究旨在提高MEMS麦克风的性能,用于更广泛的应用.
研究的目的:
- 审查MEMS麦克风技术近期的进展.
- 总结传导机制,机械结构和降噪策略.
- 为语音应用提供高性能MEMS麦克风的全面分析.
主要方法:
- 关于MEMS麦克风研究的文献综述.
- 对传导原理的分析.
- 检查不同的机械结构拓.
- 对降噪技术的评估.
主要成果:
- 确定MEMS麦克风开发中的关键挑战.
- 各种传导机制及其效率的总结.
- 概述不同的机械设计,以提高性能.
- 讨论有效的降噪方法.
结论:
- 为了克服现有的挑战,MEMS麦克风需要持续创新.
- 结构和降噪方面的进步对于高性能语音捕捉至关重要.
- 本综述提供了对MEMS麦克风技术当前状态和未来发展方向的见解.


