在现场校准切割比四波横切割干扰计使用双裂干扰的切割比

科学领域:

• 光学计量学 在光学计量学
• 干涉测量是干涉测量的方法.
• 波浪光学是一种波浪光学.

背景情况:

• 现有的侧面剪切干扰计 (LSI) 剪切比校准方法仅限于平面波发生率.
• 这些方法并不直接适用于使用分离或收球形波的LSI.

研究的目的:

• 提出和验证一种用于准确估计LSI系统中切割比的新方法,适用于平面和球形波发生.
• 使用双隙 (DS) 干涉图和数值孔径 (NA) 来推导剪切比计算方程.

主要方法:

• 开发一种基于双隙 (DS) 干扰的新型剪切比估计技术.
• 在DS干扰图中与发生球形波的剪切比率和NA相关的边缘间距方程的导出.
• 实验验证使用具有插入DS功能和感应微米的四波LSI进行实验验证.

主要成果:

• 模拟显示,切削比为0.1.1,相对误差很低,约为0.3%,切削比为0.1.
• 在塔尔博特距离上切割比的实验校准表明与理论值有很好的一致性.
• 通过将实验结果与由于位移而导致的理论剪切比率变化相匹配,证实了高精度.

结论:

• 拟议的双隙干扰方法为LSI系统中剪切比校准提供了准确和精确的方法.
• 这种方法将剪切比率校准扩展到球形波发生率,克服了以前技术的局限性.
• 经过验证的方法增强了高级光学测试应用程序的校准能力.