概括
本研究介绍了一种新型的固态光束方向装置,使用混合薄膜酸和化平台上的电光分相阵列 (EOPA) 进行高效,高速的光束控制.
科学领域:
- 光子学和光学工程 光子学和光学工程
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 薄膜酸 (TFLN) 的直接蚀刻带来了制造方面的挑战.
- 电光分相阵列 (EOPA) 提供先进的光束转向功能.
- 混合集成平台对于下一代光子设备至关重要.
研究的目的:
- 提出和演示一种新的固态二维光束方向装置.
- 利用混合TFLN和化 (SiN) 平台进行增强制造.
- 为了实现近红外应用的低功率和高速光束转向.
主要方法:
- 在SiN带载TFLN平台上使用级联多模干扰合器制造电光 (EO) 阶段调节器阵列,采用i-line光刻法.
- 将调制器阵列与具有波导网格的SiN分散天线集成,以形成EOPA.
- 使用EO相位控制和波长调节在1550nm附近用于光束方向.
主要成果:
- 在3.64V的半波电压和1.2GHz的调制速度下,达到3.2 pJ/π的最低功耗.
- 证明了高度定义的近红外光束的外平面辐射.
- 在水平和垂直方向获得22°×5°的视野.
结论:
- 拟议的混合一体化平台可实现高效,低功耗和高速的固态光束转向.
- 混合TFLN/SiN方法消除了直接TFLN蚀刻的需要,简化了制造.
- 这项技术有可能用于需要精确光束控制的先进光学系统.
