三维激光微加工系统,集成100nm以下分辨率的现场测量

科学领域:

• * 精密工程 * 精密工程
• * * 激光材料加工加工
• * 纳米技术的使用

背景情况:

• * 传统的激光微加工系统由于分开的测量和加工步骤,经常面临实现高精度的挑战.
• * 集成现场测量能力对于先进制造中的实时反和控制至关重要.
• * 五秒激光技术提供高峰功率,可在最小的热损伤下精确地切除材料.

研究的目的:

• * 开发和演示一种新的三维 (3D) 激光微加工系统.
• * 将一个分辨率低于100nm的现场测量系统与激光微加工工艺集成.
• *为了实现精确控制激光聚焦,实现稳定和准确的3D微加工.

主要方法:

• * 使用单一的秒激光源进行现场测量和微加工,以消除位置错误.
• * 采用了一种集成的测量系统,能够对高达10°的倾斜角的表面进行造型.
• * 实现了超过100nm的测量分辨率,可实时反.

主要成果:

• * 证明了在连续表面上机械加工所需图案的能力,具有高稳定性和精度.
• * 集成系统成功控制了激光聚焦运动,确保了3D微加工的精度.
• *验证了现场测量系统的100nm以下分辨率.

结论:

• * 拟议的3D激光微加工系统与集成的现场测量显著提高加工精度和稳定性.
• * 该系统在连续表面上执行精确的3D微加工的能力扩大了其实际应用.
• *这种综合方法代表了激光制造技术的重大进步.