使用多光子光刻法制造多层金属镜片:从设计到评估

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术纳米技术

背景情况:

• 金属镜头提供微型化的光学功能.
• 直接激光写作是一种多功能制造技术.

研究的目的:

• 介绍设计多层金属镜头的程序.
• 为了制造这些金属透镜,使用基于多光子的直接激光写作.
• 为了推动紧的特征尺寸的极限,高数值孔径金属镜头.

主要方法:

• 多层金属镜片的设计.
• 使用基于多光子的直接激光写作制造.
• 优化纳米结构形状的可重复性.
• 对焦效率和功能进行光学表征.

主要成果:

• 经过证明的金属镜片的数值孔径高达0.96.
• 实现了纳米结构形状的可重现性.
• 具有特征的斑点大小,聚焦效率和光纤束聚合.
• 对折射和衍射元件的性能进行比较.

结论:

• 多光子直接激光写作适用于制造紧的,高NA金属镜头.
• 开发的过程使得在平面基板和纤维尖端上可重复制造金属镜片.
• 与传统光学元件相比,金属镜头显示出具有竞争力的性能.