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Updated: Jun 29, 2025
16:11
Implementation of a Reference Interferometer for Nanodetection
Published on: April 26, 2014
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一个自我引用的干扰仪用于in situ冷晶圆曲率测量
Margaret H Samuels1,2, Alan R Kramer1, Christopher J K Richardson1,3
1Laboratory for Physical Sciences, 8050 Greenmead Dr, College Park, Maryland 20740, USA.
The Review of scientific instruments
|April 8, 2024
概括
一个新的分离束干扰仪在不稳定的环境中测量时间变化的曲率. 这种对振动不敏感的技术准确量化了薄膜中的热应变,这对于先进的材料应用至关重要.
科学领域:
- 光学和光学设备的光学和光学设备.
- 材料科学是一种材料科学.
- 机械工程 机械工程 机械工程
背景情况:
- 在不稳定的环境中测量时间变化的曲率是具有挑战性的.
- 应用程序需要快速获取数据,2D灵敏度和对振动不敏感.
- 薄膜中的热应变在操作环境中至关重要.
研究的目的:
- 开发一种自我引用的干扰仪,用于测量时间变化的曲率.
- 为了证明其在测量薄膜热应变中的应用.
- 为了实现高灵敏度和对振动无敏度.
主要方法:
- 使用一个分离束干扰仪.
- 使用CMOS摄像头捕获的干扰图.
- 应用二维里埃分析来提取曲率变化.
主要成果:
- 对局部曲率有明显的角敏感性.
- 获得了10-4 m-1级的曲率变化的实验灵敏度.
- 在冷环境中成功测量了晶片上的TiN薄膜中的异性热应力.
结论:
- 偏光束干扰仪在具有挑战性的环境中有效测量曲率变化.
- 该技术适用于量化薄膜中的热应变.
- 该系统为实际应用提供高灵敏度和振动不敏感性.
