一种基于聚乙烯-衍生物的新型非化学增强电阻,用于电子束光刻
Xuewen Cui1, Siliang Zhang1, Xue Cong1
1Beijing National Laboratory for Molecular Sciences, Key Laboratory of Photochemistry, Institute of Chemistry, University of Chinese Academy of Sciences, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, People's Republic of China.
Nanotechnology
|April 9, 2024
概括
基于盐改性聚钢的新型非化学增强电阻 (非CAR) 在电子束光刻学中实现15nm半角分辨率. 这些先进的电阻提供了高性能和模式转移应用的潜力.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 石版画是一种刻画.
背景情况:
- 传统的电阻面临着分辨率限制,需要在非化学放大电阻 (非CAR) 中取得进展.
- 开发新的非CAR对于推动高分辨率模式的边界至关重要.
研究的目的:
- 开发和描述基于盐改性聚乙烯 (PS-I) 的新型非CARs,用于高分辨率光刻.
- 为了研究PS-I电阻的光刻性能和机制.
主要方法:
- 合成可控制分子量和结构的PS-I.
- 通过改变盐负载来优化抗性质.
- 电子光束光刻 (EBL) 用于图案生成和表征.
- 对比度曲线和石版图案质量的分析.
- 通过实验和理论计算对石版机制的研究.
主要成果:
- 基于含有盐的PS-I电阻表现出调节性质,具有更高的负载提高性能.
- 确定了优化的发展条件 (4-甲基-2-坦和乙醇,v:v = 1:7).
- 在EBL中使用PS-I0.58实现了15nm半波段 (HP) 的高分辨率图案.
- 证明了 16 nm HP 和 18 nm HP 条纹的高级光刻性能,具有低线边粗度 (3.0 nm 和 2.4 nm).
- 显示出PS-I0.58对的优秀蚀刻选择性 (大约0.58%) (罗马书12:1) 这就是神所说的.
结论:
- PS-I0.58是一个有前途的非CAR,用于高分辨率图案,达到15纳米HP分辨率.
- 石版机制涉及一个极性变化诱导的溶解性开关.
- 这项工作为开发先进的高分辨率电阻提供了一个新的材料选择和指导方针.
