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Shun Wen1, Xinyuan Xue1, Shuai Wang1
1Department of Precision Instrument, State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing, 100084, China.
本研究介绍了一种用于光谱圆测量的紧型超表面阵列系统. 它可以在没有机械部件的情况下进行快速,准确的薄膜分析,为高通量测量铺平了道路.
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