Shun Wen1, Xinyuan Xue1, Shuai Wang1

  • 1Department of Precision Instrument, State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing, 100084, China.

PubMed
概括

本研究介绍了一种用于光谱圆测量的紧型超表面阵列系统. 它可以在没有机械部件的情况下进行快速,准确的薄膜分析,为高通量测量铺平了道路.