磁铁子喷射沉积的NCB薄膜的光学和电子特性
Caiyun Liu1, Le Chen1, Hong Yin1
1State Key Lab of Superhard Materials, College of Physics, Jilin University, Changchun 130012, People's Republic of China.
The Journal of chemical physics
|April 16, 2024
概括
这项研究开发了具有可调节电子特性的稳定碳化物 (BCN) 薄膜. 优化的 BCN 电影显示了改进的 Hall 流动性,这对光电子和电气有好处.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 固态物理 固态物理
- 薄膜技术 薄膜技术
背景情况:
- 碳化物 (BCN) 薄膜由于混合的BCN键提供了多样化的应用.
- 现有的 BCN 材料在电子性能上受到缺陷造成的限制,影响了移动性和导电性.
研究的目的:
- 合成具有控制光学和电子性能的机械稳定的 BCN 薄膜.
- 为了研究气流对 BCN 薄膜特性的影响.
- 探索 BCN/Si 对电子设备的异质连接的潜力.
主要方法:
- 无线电频率磁铁喷雾被用于沉积 BCN 薄膜.
- (N2) 流量被改变以调整膜的组成和特性.
- 进行了霍尔效应测量和光学带隙分析.
主要成果:
- 在 BCN 电影中,可调节的带间距从 3.32 到 3.82 eV.
- 一种最佳的 BCN 薄膜表现出 n 型导电性,在室温下霍尔运动率为 226 cm2/V·s.
- n-BCN/p-Si异质连接显示非线性整正特征,由于缺陷,道化占主导地位.
结论:
- 成功制造了具有可调节电子属性的机械稳定的 BCN 薄膜.
- 这项研究突出了BCN/Si异质连接在光学,光电子和电气应用中的潜力.
- 在 BCN 片中,缺陷工程对于提高电子性能至关重要.
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