针对胺酸和β-胺酸复合物作为基于的薄膜沉积的前体
Martin Wilken1, Arbresha Muriqi2, Annika Krusenbaum3
1Inorganic Materials Chemistry, Ruhr University Bochum, Universitätsstr. 150, 44801, Bochum, Germany.
Chemistry (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)
|April 24, 2024
概括
新的有机金属化合物被合成为化学蒸气沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD) 的前体. 这些复合物显示出对先进材料合成有前途的热性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 无机化学 无机化学
- 有机金属化学 有机金属化学
背景情况:
- 有机金属化合物是薄膜沉积技术的关键前体,如化学蒸汽沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD).
- 含 (Mn) 的材料对各种应用有兴趣,需要合适的前体来合成它们.
研究的目的:
- 系统地合成和描述基于 (Mn) 的新型有机金属化合物.
- 评估这些化合物作为CVD和ALD过程的前体的适用性.
- 探索连接体结构与Mn前体的特性之间的关系.
主要方法:
- 合成同质的全和混合氧/协调的Mn (II) 复合体.
- 连接体变异包括乙胺酸,甲胺酸,瓜尼丁酸和β-基托胺酸连接体.
- 使用单晶X射线衍射,磁性测量,质谱,元素分析和热分析进行表征.
- 使用密度函数理论 (DFT) 的理论研究.
主要成果:
- 成功合成了一系列具有多种结构 (单核和双核) 的新二复合物.
- 鉴定Bis(N,N'-ditertbutylformamidinato) ((II) 和Bis(4-(isopropylamino) pent-3-en-2-onato) ((II) 作为基于热性能的有希望的前体.
- DFT研究支持了结构发现,并探索了与氧和水等协同反应物的反应性.
结论:
- 合成的二复合物为开发用于基材料沉积的前体提供了一个新的平台.
- 带设计显著影响有机金属前体的结构和特性.
- 反应性研究为优化未来心血管疾病和ALD过程开发提供了洞察力.


