针对胺酸和β-胺酸复合物作为基于的薄膜沉积的前体

Martin Wilken1, Arbresha Muriqi2, Annika Krusenbaum3

  • 1Inorganic Materials Chemistry, Ruhr University Bochum, Universitätsstr. 150, 44801, Bochum, Germany.

概括

新的有机金属化合物被合成为化学蒸气沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD) 的前体. 这些复合物显示出对先进材料合成有前途的热性能.