兴奋剂对高纯度石英玻璃性能的影响
Bartłomiej Adam Gaweł1, Jochen Busam2, Astrid Marthinsen3
1The Quartz Corp Hellandsveien 14, 8270 Drag Norway bartlomiej.gawel@thequartzcorp.com.
RSC advances
|April 26, 2024
概括
将添加到石英玻璃中可以显著减少变形,并提高高温粘度,这对于成本效益高的太阳能级生产至关重要. 这种增强有助于在金条拉动过程中使稳定.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 玻璃科学 玻璃科学
- 半导体制造业 半导体制造业
背景情况:
- 高纯度的石英对于制造用于太阳能级金条生产的玻璃是必不可少的.
- 在高温下形变形 (大约. 在负荷下1500°C) 是成本效益高的英格拉拉的关键挑战.
研究的目的:
- 研究 (Al) 涂层对石英原材料的影响,以提高石英玻璃的高温变形抵抗和粘度.
- 了解负责改进性质的潜在机制.
主要方法:
- 用涂覆石英原材料. 用涂覆石英原材料.
- 修改石英玻璃的高温变形和粘度测试.
- 原子模型研究对玻璃结构和缺陷稳定性 (例如OH组,氧空缺) 的作用.
- 实验证实相位过渡动力学的实验证实.
主要成果:
- 添加高达1000重量ppm的Al可以大大减少玻璃变形,并提高高温下的粘度.
- 添加可能会稳定石英玻璃,减少OH组的稳定性并捕获氧气空缺.
- 原子模型支持这些发现,显示了西兰醇组的更高的形成能量,以及在Al.
- 虽然氧气空缺阻碍了克里斯托巴利特的结晶,但Al原子通过局部削弱Si-O键来加速玻璃到晶体相位过渡.
结论:
- 涂层是一种有效的方法,可以提高石英玻璃的高温性能,用于制造.
- 改进的性能归因于引发的结构修改,影响了缺陷稳定性和粘合强度.
- 了解这些机制,可以为设计用于高要求的半导体制造工艺的先进材料提供见解.
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