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Updated: Jul 4, 2026

Fabrication and Characterization of Superconducting Resonators

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Published on: May 21, 2016

基于36Y切割的LiNbO₃薄膜薄膜的无虚假切割水平波共振器

Yushuai Liu^1,2,3, Kangfu Liu^1,2,3, Jiawei Li^1,2,3

¹School of Information Science and Technology, ShanghaiTech University, Shanghai 201210, China.

|April 27, 2024

概括

这项研究引入了用于射频 (RF) 应用的新酸 (LiNbO3) 剪切水平 (SH0) 共振器. 这些设备表现出高性能,包括显著的机电合系数和质量因子.

科学领域:

材料科学材料科学材料科学
电气工程电气工程
物理物理学物理

背景情况:

酸 (LiNbO3) 是压电共振器的一个关键材料.
无线电频率 (RF) 应用需要高性能共振器设备.
现有的共振器设计在虚假模式和效率方面面临局限性.

研究的目的:

设计,分析和制造使用酸尼奥巴特的无虚假切割水平零 (SH0) 反响器.
优化共振器结构以提高射频 (RF) 性能.
为了研究用于共振器应用的36Y切割LiNbO3薄膜的压电特性.

主要方法:

使用悬浮结构用于酸 (LiNbO3) 基SH0共振器.
使用36Y切割的LiNbO3薄膜用于共振器制造.
在特定的波传播方向下,表征机电合系数 (kt2) 和质量系数 (Qr).

主要成果:

实现了一个无伪性SH0共振器.
获得了42.67%的高电机合系数 (kt2).
在36Y切割平面的0°波传播方向上测量了254的质量系数 (Qr).

结论:

开发的悬浮酸 (LiNbO3) SH0振器适用于先进的射频 (RF) 应用.
36Y切割的LiNbO3薄膜显示了用于共振器制造的出色压电特性.
实现的性能指标表明了下一代射频过器和设备的有希望的方向.

关键词:

具有高的机电联接系数.尼奥酸盐 (LiNbO3) 是一种酸盐.一个共振器的共振器.剪切水平波的水平波.

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