MHMIC

Chaouki Hannachi1, Matthieu Egels1, Philippe Pannier1

  • 1Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence (IM2NP), CNRS, UMR 7334, Aix-Marseille Université, 13000 Marseille, France.

PubMed
概括

研究了60 GHz单体混合微波集成电路 (MHMIC) 的制造变化. 该研究量化了薄膜组件和粘接带的可接受尺寸变化,以提高MHMIC制造精度.