Sangeetha Hari1,2, Willem F van Dorp1,3, Johannes J L Mulders4

  • 1Department of Imaging Physics, Delft University of Technology, Lorentzweg 1, 2628CJ Delft, Netherlands.

概括

聚焦电子束诱导沉积 (FEBID) 结构现在具有使用新的FEBID和蚀刻技术的垂直侧墙. 这种方法可以精确控制侧墙角,克服传统FEBID制造的局限性.