经过UV/臭氧处理和Sol-Gel处理的Y2O3绝缘体,使用凝延迟前体制备
Sangwoo Lee1, Yoonjin Cho1, Seongwon Heo1
1School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Daegu 41566, Republic of Korea.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|May 10, 2024
概括
研究人员使用sol-gel工艺开发了高质量的氧化物 (Y2O3) 绝缘体. 乙酸前体和紫外线/臭氧处理为灵活的电子产品提供了卓越的电气性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 开发高性能介电绝缘体对于先进的电子设备至关重要.
- 索尔凝加工为制造薄膜绝缘体提供了一种多功能途径.
- 前体选择和沉积后处理对材料性质有很大的影响.
研究的目的:
- 研究不同前体和回火过程对氧化 (Y2O3) 绝缘体性能的影响.
- 优化Y2O3薄膜的制造,以提高电气性能.
- 探索Y2O3绝缘体在灵活电子应用中的潜力.
主要方法:
- 使用各种前体 (乙酸盐,酸盐,异氧化物氧化物,三异氧化物) 的sol-gel方法制造Y2O3薄膜.
- 用紫外线/臭氧处理和高温回火对制成的薄膜的应用.
- 薄膜结构的表征,表面形态,化学成分和电气特性 (电流密度-电场,介电常数).
主要成果:
- 从乙酸前体中提取的氧化薄膜,并用紫外线/臭氧处理,呈现出均,平坦的表面,氧气空缺和副产品最小.
- 这些优化的薄膜在1 MV/cm时实现了10^-8 A/cm2的低电流密度.
- 观察到一个稳定的介电常数 (k),范围从12.28在20Hz到10.5在100KHz.
结论:
- 选择前体和低温制造方法 (UV/臭氧处理) 对于生产高质量的Y2O3绝缘体至关重要.
- 优化的Y2O3薄膜显示出出色的绝缘性能和稳定的介电性能.
- 这些发现突显了Y2O3作为灵活电子产品的高k介电材料的潜力.
